Zakład Fizyki Stosowanej jest jednym z trzech zakładów naukowych Instytutu Fizyki CND Politechniki Śląskiej w Gliwicach. Laboratoria oraz pokoje pracowników i doktorantów mieszczą się w budynku Centrum Nowych Technologii Politechniki Śląskiej przy ul. Konarskiego 22B w Gliwicach.
Zakład prowadzi działalność naukową skoncentrowaną na badaniach własności cieplnych ciał stałych, własności elektronowych powierzchni półprzewodników i struktur półprzewodnikowych, teoretycznej zespolonej optyce geometrycznej, skaningowej mikroskopii różnych typów (sił atomowych, cieplnej, sił elektrycznych i sondą Kelvina). Badania naukowe skupiają się również na oddziaływaniach akustoelektronowych i wykorzystaniu AFP w sensorach gazowych. Ponadto ZFS prowadzi działalność dydaktyczną obejmującą nauczanie podstaw fizyki oraz przedmiotów specjalistycznych związanych z prowadzonymi badaniami naukowymi.
Początki zakładu sięgają 1971 roku, gdy Katedra Fizyki Technicznej została przekształcona w Instytut Fizyki składający się z sześciu grup badawczych, z których jedną - „Metody akustyczne w badaniach półprzewodników” - kierował dr Zygmunt Kleszczewski. W 1981 r. jednostka zmieniła nazwę na „Grupa Badawcza Akustyki Ciała Stałego”, a w 1984 r. przekształciła się w Zakład Akustyki Ciała Stałego. W roku 1986 zakład poszerzył swą kadrę i działalność naukową o zagadnienia badań powierzchni i granic fazowych półprzewodników, w tym struktur metal-tlenek-półprzewodnik (MOS). Zakład zmienił nazwę na obecną 1 września 2002. Prof. Z. Kleszczewski kierował jednostką do swej śmierci w roku 2003. Obecnie kierownikiem jest prof. dr hab. inż. Jerzy Bodzenta. We wrześniu 2009 roku do zakładu przeszła część pracowników z likwidowanego Zakładu Technologii Elektronowej i Zakładu Optoelektroniki.